Если интерференционный метод объединить с непосредственным наблюдением деформации с помощью микроскопа, что осуществляется в микроинтерферометре, значительно увеличивается точность получаемых результатов по сравнению с методом косых лучей. Метод меток удобен для определения деформации и неоднородности деформации в очень малых объемах и особенно при малых степенях пластической деформации